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＜図書＞
Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm
(Plasma-materials interactions)
| 出版者 | Boston ; Tokyo : Academic Press |
|---|---|
| 出版年 | c1989 |
| コード類 | 書誌ID=2000561347 NCID=BA07363130
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 大きさ | xii, 476 p. : ill. ; 24 cm |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 著者標目 | Manos, Dennis M. Flamm, Daniel L. |
| 件 名 | LCSH:Plasma etching |
| 分 類 | LCC:TA2020 DC19:621.044 NDC8:427.6 |
| 巻冊次 | ISBN:0124693709 |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 印刷 | 予約 | 利用注記 | 文献取寄 | eDDS |
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| 情・情報図書室・書庫 |
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621.04/M317 | 3570406515 |
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0124693709 | 1989 |
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