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入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
| Publisher | 東京 : 技報堂出版 |
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| Year | 1985.10 |
| Codes | ID=2000001564 NCID=BN00148324
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| Language | Japanese |
|---|---|
| Size | 2,2,3,145p ; 22cm |
| Other titles | original title:Vacuum technology, thin films, and sputtering variant access title:真空・薄幕・スパッタリング : 入門 |
| Authors | Stuart, R. V. 著 毛利, 衛 <モウリ, マモル> 数坂, 昭夫 <カズサカ, アキオ> |
| Subjects | NDLSH:真空工学 NDLSH:薄膜 |
| Classification | NDC8:534.93 NDLC:NB126 |
| Vol | ISBN:4765503585 ; PRICE:2000円 |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | Comments | ISBN | Printed | Reserve | Restriction | Copy | eDDS | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Central Library, Open-Stack Room |
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621.5/STU | 0112463076 |
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4765503585 | 1985 |
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| Eng General Lib, Open Stacks (Japanese Books) |
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621.55/STU | 3590033618 |
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4765503585 | 1991 |
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| Engineering, Zairyou kagakukei Library |
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621.55/STU | 3570019538 |
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4765503585 | 1985 |
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