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プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
Edition | 第2版 |
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Publisher | 東京 : 丸善 |
Year | 2010.1 |
Codes | ID=2001468751 NCID=BB00985264 |
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Language | Japanese |
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Size | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
Other titles | original title:Principles of plasma discharges and materials processing variant access title:プラズマプロセスの原理 |
Notes | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
Authors | Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J., 1930- 佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ> 堀, 勝(1958-) 監修 <ホリ, マサル> |
Subjects | BSH:プラズマ物理学 NDLSH:薄膜 |
Classification | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
Vol | ISBN:9784621082232 ; PRICE:18000円+税 |
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Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | Comments | ISBN | Printed | Reserve | Restriction | Copy | eDDS | |
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Eng General Lib, Open Stacks (Japanese Books) |
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530.44/LIE | 3580121385 |
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9784621082232 | 2010 |
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