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<Books>
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)

Publisher 東京 : 産業図書
Year 1989.2
Codes ID=2000365962 NCID=BN03233656

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Language Japanese
Size viii, 330p ; 22cm
Authors 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ>
奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ>
Subjects BSH:半導体
NDLSH:半導体
Classification NDC8:549.8
Vol ISBN:478285627X ; PRICE:4500円

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Information science, Nanoelectronics
621.381/KAT 3570266881
478285627X 1989

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