<図書>
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)
出版者 | 東京 : 産業図書 |
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出版年 | 1989.2 |
コード類 | 書誌ID=2000365962 NCID=BN03233656 |
書誌詳細を表示
本文言語 | 日本語 |
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大きさ | viii, 330p ; 22cm |
著者標目 | 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ> 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> 奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ> |
件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.8 |
巻冊次 | ISBN:478285627X ; PRICE:4500円 |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 印刷 | 予約 | 利用注記 | 文献取寄 | eDDS |
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情・ナノエレクトロニクス |
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621.381/KAT | 3570266881 |
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478285627X | 1989 |
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