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<図書>
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)

出版者 東京 : 共立出版
出版年 1987.11
コード類 書誌ID=2000151091 NCID=BN01734322

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本文言語 日本語
大きさ iv, 99p ; 19cm
著者標目 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
巻冊次 ISBN:4320042271 ; PRICE:1030円

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本館・書庫・和書
668.9/KOB 0770254912
4320042271 1991
本館・開架閲覧室
668.9/KOB 0170687480

1987
工・中央図書室・開架
668.9/KOB 3570115171
4320042271 1987
工・中央図書室・開架
668.9/KOB 3590009493
4320042271 1988

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