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<図書>
薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著
ハクマクカ ギジュツ

第3版
出版者 東京 : 共立出版
出版年 2002.6
コード類 書誌ID=2001009428 NCID=BA57243403

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本文言語 日本語
大きさ viii, 316p ; 22cm
一般注記 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
文献: 各章末
著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
件 名 BSH:薄膜
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
巻冊次 ISBN:4320086139 ; PRICE:5000円

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工・中央図書室・開架
541.34/WAS 3590128156
4320086139 2003
工・中央図書室・開架
541.34/WAS 3590128167
4320086139 2003

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