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<図書>
Emerging semiconductor technology : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, San Jose, CA, 28-31 Jan. 1986 ; Dinesh C. Gupta and Paul H. Langer, editors
(ASTM special technical publication ; 960)

出版者 Philadelphia, PA : American Society for Testing and Materials
出版年 c1987
コード類 書誌ID=2000180128 NCID=BA04332527

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本文言語 英語
大きさ 704 p. : ill. ; 24 cm
一般注記 Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing
"ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46."
Includes bibliographies and indexes
著者標目 Gupta, D. C. (Dinesh C.)
Langer, Paul H.
ASTM Committee F-1 on Electronics
International Symposium on Semiconductor Processing (4th : 1986 : San Jose, Calif.)
件 名 LCSH:Semiconductor industry -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/2
巻冊次 ISBN:0803104596

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本館・書庫・洋書
621.38152/EM32 0170549505
0803104596 1987

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