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<図書>
VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて / 徳山巍, 橋本哲一編著
VLSI セイゾウ ギジュツ : サブミクロン ジダイ ニ ムカウ サイセンタン MOS ギジュツ ノ スベテ

出版者 東京 : 日経BP社
出版年 1989.1
コード類 書誌ID=2000228163 NCID=BN03227289

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本文言語 日本語
大きさ 6, 325p ; 27cm
別書名 奥付タイトル:VLSI製造技術
一般注記 各章末: 参考文献
索引: p323-326
著者標目 徳山, 巍(1929-) 編著 <トクヤマ, タカシ>
橋本, 哲一(1940-) 編著 <ハシモト, ノリカズ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDLC:ND386
巻冊次 ISBN:4822270556 ; PRICE:6800円

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621.38/TOK 1770152943
4822270556 1989

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