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＜図書＞
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : 技術力の真髄 / 佐藤淳一著
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : ギジュツリョク ノ シンズイ
(How-nual図解入門)
| 出版者 | 東京 : 秀和システム |
|---|---|
| 出版年 | 2010.5 |
| コード類 | 書誌ID=2001481102 NCID=BB0250595X
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 大きさ | 231p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 奥付タイトル:図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み 背表紙タイトル:よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 異なりアクセスタイトル:よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する技術力の真髄 |
| 著者標目 | *佐藤, 淳一(1954-) <サトウ, ジュンイチ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 巻冊次 | ISBN:9784798026107 ; PRICE:1800円+税 |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 印刷 | 予約 | 利用注記 | 文献取寄 | eDDS |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 北図書館・東棟2階 |
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621.381/SAT | 0280559352 |
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9784798026107 | 2010 |
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