<図書>
超高品質薄膜堆積プラズマ評価用エバネセントレーザ分光診断システムの開発 / 研究代表者 Bratescu, Maria Autoaneta
チョウ コウヒンシツ ハクマク タイセキ プラズマ ヒョウカヨウ エバネセント レーザ ブンコウ シンダン システム ノ カイハツ
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成14年度〜平成15年度)
出版者 | [札幌] : [北海道大学工学研究科] |
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出版年 | 2004.3 |
コード類 | 書誌ID=2001159641 NCID=BA68311185 |
書誌詳細を表示
本文言語 | 英語,日本語 |
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大きさ | 1冊 ; 30cm |
別書名 | 異なりアクセスタイトル:科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 : 平成14年度〜平成15年度 |
一般注記 | 課題番号: 14550407 |
著者標目 | Bratescu, Maria Autoaneta |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 印刷 | 予約 | 利用注記 | 文献取寄 | eDDS |
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本館・中央書庫1階・参考科研報告書 |
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001.44/KO/2004 | 0180035947 |
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2004 |
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