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<図書>
超高品質薄膜堆積プラズマ評価用エバネセントレーザ分光診断システムの開発 / 研究代表者 Bratescu, Maria Autoaneta
チョウ コウヒンシツ ハクマク タイセキ プラズマ ヒョウカヨウ エバネセント レーザ ブンコウ シンダン システム ノ カイハツ
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成14年度〜平成15年度)

出版者 [札幌] : [北海道大学工学研究科]
出版年 2004.3
コード類 書誌ID=2001159641 NCID=BA68311185

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本文言語 英語,日本語
大きさ 1冊 ; 30cm
別書名 異なりアクセスタイトル:科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 : 平成14年度〜平成15年度
一般注記 課題番号: 14550407
著者標目 Bratescu, Maria Autoaneta

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本館・中央書庫1階・参考科研報告書
001.44/KO/2004 0180035947

2004