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<図書>
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : 技術力の真髄 / 佐藤淳一著
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : ギジュツリョク ノ シンズイ
(How-nual図解入門)

出版者 東京 : 秀和システム
出版年 2010.5
コード類 書誌ID=2001481102 NCID=BB0250595X

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本文言語 日本語
大きさ 231p : 挿図 ; 21cm
別書名 奥付タイトル:図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み
背表紙タイトル:よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
著者標目 *佐藤, 淳一(1954-) <サトウ, ジュンイチ>
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
巻冊次 ISBN:9784798026107 ; PRICE:1800円+税

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北図書館・東棟2階
621.381/SAT 0280559352
9784798026107 2010

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